ST系列晶圆分拣机（Sorter）
提供兼具高性能，低维修成本及灵活的配件组合，搭配公司独家专利的Load Port，为客户提供高性价比的晶圆自动化传输方案。
分拣机可快速平稳地对晶圆进行转移、整理、拆批以及合批。
机械手臂可搭配真空/伯努利/边缘夹持抓手
可配置真空/边缘夹持预对准器
根据客户工艺配置单面/双面读取的OCR机构
可兼容并自动识别FOUP、FOSB、SMIF以及Open Cassette等载具
具有针对大翘曲度晶圆的解决方案
简易人机界面，可灵活设置运送规则
